据南方财富网概念查询工具数据显示，薄膜沉积设备上市龙头企业有：
微导纳米688147：薄膜沉积设备龙头股，
微导纳米10月17日收报49.750元，跌7.08，换手率5.57%。
公司开发了对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备，已先后获得国内多家知名半导体公司的商业订单，并在报告期内实现了国产ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺（高介电常数栅氧层材料沉积环节）中的突破。此外，公司已与多家国内半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等合作，针对国内半导体薄膜沉积各细分应用领域研发试制新型ALD设备。
在近7个交易日中，微导纳米有4天下跌，期间整体下跌8.6%，最高价为56.3元，最低价为51.11元。和7个交易日前相比，微导纳米的市值下跌了19.74亿元。
盛美上海688082：薄膜沉积设备龙头股，
10月17日收盘消息，盛美上海开盘报价178.18元，收盘于183.380元，成交额7.92亿元。
近7个交易日，盛美上海下跌7.11%，最高价为182元，总市值下跌了62.58亿元，2025年来上涨45.47%。
拓荆科技688072：薄膜沉积设备龙头股，
近7日拓荆科技股价下跌8.23%，2025年股价上涨37.99%，最高价为273.88元，市值为696.78亿元。
薄膜沉积设备概念股其他的还有：
国力股份：近5个交易日股价下跌4.51%，最高价为76.7元，总市值下跌了3.05亿。
中科飞测：近5个交易日股价下跌5.21%，最高价为128.9元，总市值下跌了19.91亿，当前市值为382.05亿元。
富创精密：近5个交易日，富创精密期间整体下跌11.23%，最高价为84.56元，最低价为78.6元，总市值下跌了24.83亿。
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