据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻清洗设备龙头股有：
光刻清洗设备概念股其他的还有：
沃特股份：近5个交易日，沃特股份期间整体下跌1.06%，最高价为22.12元，最低价为21.05元，总市值下跌了5790.48万。
飞鹿股份：回顾近5个交易日，飞鹿股份有2天上涨。期间整体上涨4.15%，最高价为9.82元，最低价为9.01元，总成交量5907.05万手。
捷佳伟创：近5日捷佳伟创股价下跌0.31%，总市值下跌了9752.18万，当前市值为314.23亿元。2025年股价上涨29.94%。
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