据南方财富网概念查询工具数据显示，国产光刻机龙头企业有：
同飞股份：龙头，
截止10月20日15时同飞股份（300990）涨1.55%，报73.300元/股，3日内股价下跌1.47%，换手率2.36%，成交额1.33亿元。
在近30个交易日中，同飞股份有13天上涨，期间整体上涨2.47%，最高价为88.85元，最低价为69.29元。和30个交易日前相比，同飞股份的市值上涨了3.07亿元，上涨了2.47%。
海立股份：龙头，
10月21日15点收盘，海立股份涨0.84%，报24.540元；5日内股价上涨13.24%，成交额27.25亿元，市值为263.4亿元。
回顾近30个交易日，海立股份股价上涨1.47%，总市值上涨了34.88亿，当前市值为263.4亿元。2025年股价上涨50.29%。
国产光刻机概念股其他的还有：
飞乐音响：10月22日15点，飞乐音响(600651)今年来上涨52.14%，最新股价报8.650元，当日最高价为9.41元，最低达9元，换手率2.65%，成交额5.79亿元。
上海机电：10月23日收盘消息，上海机电5日内股价上涨4.48%，今年来涨幅上涨29.53%，最新报25.430元，成交额2.86亿元。
电科数字：电科数字消息，10月23日该股开盘报27.58元，截至收盘，股价报27.370元跌1.95%，成交量817.95万手，换手率1.2%，总市值为186.17亿元。
东方明珠：10月23日，东方明珠(600637)15点股价报9.050元，跌0.98%，市值为304.25亿元，换手率1.26%，当日成交额3.83亿元。
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