据南方财富网概念查询工具数据显示，集成电路装备龙头有：
至纯科技：9月3日开盘消息，至纯科技最新报29.320元，涨5.01%。成交量6951.07万手，总市值为112.48亿元。
公司于2020年8月17日晚发布非公开发行A股股票预案，拟向不超35名特定投资者发行不超78,005,377股，募资不超18.6亿元用于半导体湿法清洗设备扩产项目、半导体晶圆再生二期项目、光电子材料及器件制造基地建设项目和补充流动资金或偿还债务。半导体晶圆再生二期项目总投资6亿元，计划在原晶圆再生一期项目的基础上，进一步扩充晶圆再生项目产能。（已核准）公司于2021年8月24日晚公告，拟公开发行不超11亿元可转债，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、集成电路大宗气体供应站及配套项目以及补充流动资金或偿还银行贷款。集成电路大宗气体供应站及配套项目总投资3.89亿元，项目将基于公司在大宗气站建设相关的技术和经验积累，为上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司12英寸集成电路研发制造生产线，建造大宗气体供应站及其配套设施。
联动科技：9月3日开盘最新消息，联动科技5日内股价上涨8.51%，截至14时57分，该股报81.980元涨4.51%。
炬光科技：9月3日开盘最新消息，炬光科技5日内股价上涨0.09%，截至14时49分，该股报132.670元涨4.3%。
耐科装备：9月3日消息，耐科装备(688419)开盘报28.79元，截至11时22分，该股涨0.94%报28.560元，换手率8.76%，成交额7798.47万元。
华海清科：9月3日消息，截至10时17分华海清科涨0.89%，报120.480元，换手率2.21%，成交量780.71万手，成交额9.53亿元。
长川科技：9月3日消息，长川科技7日内股价上涨13.56%，最新报59.360元，市盈率为81.32。
公司掌握了集成电路测试设备的相关核心技术。
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