据南方财富网概念查询工具数据显示，集成电路装备题材公司有：
晶盛机电（300316）：
资金流向数据方面，9月5日主力资金净流流入3.39亿元，超大单资金净流入2.61亿元，大单资金净流入7874.11万元，散户资金净流出1.82亿元。
从近三年ROE来看，近三年ROE均值为28.45%，过去三年ROE最低为2024年的15.97%，最高为2023年的35.56%。
炬光科技（688167）：
9月6日该股主力净入-3921.58万元，其中资金流入方面：超大单净入1.54亿元，大单净入2.31亿元，中单净入2.81亿元，散户净入2.25亿元；资金流出方面：超大单净出1.27亿元，大单净出2.97亿元，中单净出3.31亿元，散户净出1.35亿元。
炬光科技从近五年毛利率来看，近五年毛利率均值为46.74%，过去五年毛利率最低为2024年的28.11%，最高为2022年的54.26%。
普利特（002324）：
9月5日消息，资金净流入206.04万元，超大单净流入244.72万元，成交金额4.53亿元。
从普利特近五年净利润来看，近五年净利润均值为2.46亿元，过去五年净利润最低为2021年的2374.82万元，最高为2023年的4.68亿元。
长川科技（300604）：
9月5日消息，长川科技主力净流入979.93万元，超大单净流出2700.64万元，散户净流入770.87万元。
从近五年净利润来看，近五年净利润均值为2.54亿元，过去五年净利润最低为2023年的4515.96万元，最高为2022年的4.61亿元。
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