据南方财富网概念查询工具数据显示，集成电路装备概念股有：
四川双马：截止09时18分，四川双马报20.440元，涨0.05%，总市值156.05亿元。
晶盛机电：9月22日消息，晶盛机电（300316）开盘跌1.58%，报38.620元/股，成交量4869.47万手，换手率3.95%，振幅涨2.12%。
至纯科技：9月22日开盘消息，至纯科技最新报价28.720元，3日内股价上涨0.38%，市盈率为463.23。
拟在上海电子化学品专区投资建设半导体电子化学品、电子特气研发及产业化项目，助力提升我国集成电路关键材料的本土生产能力。
联动科技：9月22日股市消息，联动科技（301369）开盘报74.830元/股。最低达0元，换手率7.47%。
万业企业：9月22日消息，万业企业5日内股价上涨4.55%，最新报16.940元，成交量3515.53万手，总市值为157.65亿元。
2018年1月份披露，现经工商核准上海集成电路装备材料产业投资基金（筹）正式命名为“上海半导体装备材料产业投资基金”。
华海清科：9月22日消息，华海清科7日内股价上涨9.66%，截至09时18分，该股报130.690元，涨1.68%，总市值为461.87亿元。
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