据南方财富网概念查询工具数据显示，集成电路装备概念股有：
（1）、联动科技：9月26日消息，联动科技资金净流出1265.86万元，超大单净流出1564.04万元，换手率15.49%，成交金额5.03亿元。
从公司近五年净利率来看，近五年净利率均值为23.95%，过去五年净利率最低为2024年的5.94%，最高为2021年的37.19%。
（2）、晶盛机电：9月26日资金净流入2.07亿元，超大单净流入2.03亿元，换手率5.89%，成交金额30.82亿元。
从近三年扣非净利润来看，近三年扣非净利润均值为31.92亿元，过去三年扣非净利润最低为2024年的24.59亿元，最高为2023年的43.75亿元。
（3）、华海清科：9月25日该股主力净入7823.22万元，其中资金流入方面：超大单净入5.11亿元，大单净入7.14亿元，中单净入7.66亿元，散户净入3.2亿元；资金流出方面：超大单净出4.55亿元，大单净出6.91亿元，中单净出7.65亿元，散户净出3.99亿元。
从近三年总资产收益率来看，华海清科近三年总资产收益率均值为9.2%，过去三年总资产收益率最低为2023年的8.54%，最高为2024年的9.81%。
（4）、长川科技：9月26日消息，资金净流入2.08亿元，超大单净流入3.74亿元，成交金额103.62亿元。
国内为数不多的可以自主研发、生产集成电路测试设备的企业；公司主要为集成电路封装测试企业、晶圆制造企业、芯片设计企业等提供测试设备，公司主要销售产品为测试机、分选机、自动化设备及AOI光学检测设备等。
从近三年总资产收益率来看，公司近三年总资产收益率均值为6.75%，过去三年总资产收益率最低为2023年的1.15%，最高为2022年的11.99%。
（5）、中微公司：9月26日消息，中微公司主力资金净流入2.99亿元，超大单资金净流入1.92亿元，散户资金净流出1569.72万元。
从近三年净利率来看，近三年净利率均值为23.64%，过去三年净利率最低为2024年的17.81%，最高为2023年的28.48%。
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