据南方财富网概念查询工具数据显示，集成电路装备板块概念股有：
万业企业：公司的毛利率47.67%，净利率-1.13%，2024年总营业收入5.81亿，同比增长-39.72%；扣非净利润-5461.55万，同比增长-170.63%。
其控股孙公司北京凯世通半导体有限公司（下称“北京凯世通”）拟向重要客户出售多台12英寸集成电路设备（包含低能大束流离子注入机、低能大束流超低温离子注入机），总交易金额为人民币6.58亿元。
近5日万业企业股价上涨14.91%，总市值上涨了30.52亿，当前市值为204.74亿元。2025年股价上涨33.55%。
至纯科技：至纯科技公司2024年实现总营业收入36.05亿，同比增长14.4%；净利润-5740.7万，同比增长-156.25%，毛利率31.4%，净利率-1.56%。
2017年12月8日晚间公告，公司拟出资3000万元参与投资青岛海丝民合半导体投资中心(有限合伙)，基金总募集规模为30亿元，设立时认缴出资总额为22.5亿元，重点投资于集成电路领域并购整合及有核心竞争力公司的投资。
近5个交易日，至纯科技期间整体上涨0.39%，最高价为31.81元，最低价为29.21元，总市值上涨了4603.74万。
耐科装备：耐科装备2024年报显示，公司的毛利率37.94%，净利率23.87%，总营业收入2.68亿，同比增长35.48%；扣非净利润5068.24万，同比增长35.94%。
近5个交易日股价下跌3.17%，最高价为32.99元，总市值下跌了1.15亿。
晶盛机电：晶盛机电2024年报显示，公司的毛利率33.35%，净利率15.16%，总营业收入175.77亿，同比增长-2.26%；扣非净利润24.59亿，同比增长-43.8%。
回顾近5个交易日，晶盛机电有5天上涨。期间整体上涨15.45%，最高价为48.88元，最低价为36.85元，总成交量2.93亿手。
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