据南方财富网概念查询工具数据显示，集成电路装备相关上市公司有：
至纯科技：
11月13日开盘消息，至纯科技今年来涨幅上涨17.56%，截至14时12分，该股涨2.64%，报30.460元，总市值为116.86亿元，PE为491.29。
主营业务包括高纯工艺集成系统、半导体湿制程设备、光传感及光器件等，2021年半导体设备业务营收7.0亿元，同比增长222%。
公司总股本3.19万股，流通A股2.6万股，每股收益0.06元。
万业企业：
11月13日消息，万业企业(600641)开盘报18.29元，截至14时10分，该股涨0.55%报18.380元，换手率2.77%，成交额4.74亿元。
2018年1月份披露，现经工商核准上海集成电路装备材料产业投资基金（筹）正式命名为“上海半导体装备材料产业投资基金”。该基金总规模为100亿元，首期规模50.5亿元。
万业企业总股本9.58万股，流通A股9.58万股，每股收益0.12元。
华海清科：
11月13日开盘消息，华海清科截至15时收盘，该股报139.700元，涨0.18%，7日内股价上涨0.64%，总市值为493.71亿元。
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