据南方财富网概念库数据显示，相关芯片制造设备概念股票有：
（1）、光力科技（300480）：
从光力科技近五年总资产收益率来看，近五年总资产收益率均值为3.54%，过去五年总资产收益率最低为2024年的-5.36%，最高为2021年的9.04%。
近7日股价上涨12.2%，2026年股价上涨10.2%。
（2）、长川科技（300604）：
从公司近五年总资产收益率来看，近五年总资产收益率均值为6.83%，过去五年总资产收益率最低为2023年的1.15%，最高为2022年的11.99%。
长川科技近7个交易日，期间整体上涨14.23%，最高价为105元，最低价为129.85元，总成交量2.78亿手。2026年来上涨14.24%。
（3）、至纯科技（603690）：
至纯科技从近五年总资产收益率来看，近五年总资产收益率均值为3.09%，过去五年总资产收益率最低为2024年的-0.44%，最高为2020年的5.66%。
至纯科技近7个交易日，期间整体上涨8.21%，最高价为29.82元，最低价为33.67元，总成交量2.24亿手。2026年来上涨1.65%。
（4）、精测电子（300567）：
从近五年总资产收益率来看，精测电子近五年总资产收益率均值为1.81%，过去五年总资产收益率最低为2024年的-2.31%，最高为2020年的4.67%。
近7日股价上涨20.3%，2026年股价上涨11.42%。
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