据南方财富网概念库数据显示，芯片制造设备题材上市公司有：
中微公司（688012）：
半导体刻蚀机龙头，面向全球的高端半导体微观加工设备公司。
回顾近30个交易日，中微公司上涨21.89%，最高价为369元，总成交量3.04亿手。
北方华创（002371）：
近30日股价上涨13.97%，2026年股价上涨3.2%。
华峰测控（688200）：
近30日股价上涨23.03%，2026年股价上涨10.85%。
光力科技（300480）：
光力科技在近30日股价上涨15.54%，最高价为19.88元，最低价为15.46元。当前市值为64.71亿元，2026年股价上涨6.87%。
精测电子（300567）：
近30日精测电子股价上涨37.95%，最高价为112.3元，2026年股价上涨10.36%。
至纯科技（603690）：
近30日至纯科技股价上涨9.73%，最高价为33.67元，2026年股价下跌-2.07%。
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