据南方财富网概念查询工具数据显示，2026年半导体清洗设备龙头股有：
1、富乐德：
龙头股，截至3月30日12时26分，富乐德报33.590元，涨0.76%，换手率0.62%，成交量225.19万手，市值为249.64亿元。
3月29日该股主力净入-329.8万元，其中资金流入方面：超大单净入381.42万元，大单净入1132.91万元，中单净入2171.75万元，散户净入4208.57万元；资金流出方面：超大单净出412.86万元，大单净出1431.27万元，中单净出2343.18万元，散户净出3707.34万元。
2、盛美上海：
龙头股，3月30日盘中最新消息，盛美上海今年来下跌-15.7%，截至12时26分，该股涨0.06%报150.140元。
3月27日消息，盛美上海3月27日主力资金净流出294.04万元，超大单资金净流入394.08万元，大单资金净流出688.12万元，散户资金净流入3494.58万元。
清洗设备龙头，产品线与新凯来形成互补。
3、蓝英装备：
龙头股，3月30日盘中消息，蓝英装备报17.120元/股，跌0.35%。今年来涨幅下跌-12.68%，成交总金额4020.72万元。
4、芯源微：
龙头股，3月30日消息，芯源微今年来涨幅上涨13.64%，最新报169.480元，涨0.61%，成交额7.97亿元。
3月27日该股主力净流入5413.88万元，超大单净流入5145.76万元，大单净流入268.12万元，中单净流出148.47万元，散户净流出5265.4万元。
5、北方华创：
龙头股，3月30日，北方华创（002371）5日内股价下跌5.82%，今年来涨幅下跌-2.71%，涨1.67%，最新报465.500元/股。
3月27日该股主力资金净流入2.58亿元，超大单资金净流入4251.69万元，大单资金净流入2.16亿元，中单资金净流出2.58亿元，散户资金净流出54.54万元。
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