中小板半导体设备概念股有华亚智能、可立克、博杰股份、福晶科技、北方华创、大族激光、通富微电、扬子新材、胜利精密、华天科技等31家。根据南方财富网概念库股票工具数据整理，在市值上，截至3月25日，中小板半导体设备概念股市值排名情况如下：
NO.1、北方华创：3374.1亿元
公司业务有电子产品的研发、生产、销售和技术服务。
NO.2、东山精密：2018.8亿元
公司主要从事精密金属制造和精密电子制造。
NO.3、通富微电：660.31亿元
公司主营业务为集成电路封装测试。
NO.4、大族激光：657.92亿元
公司主营业务为激光加工及自动化系统集成设备制造。
NO.5、华天科技：413.52亿元
公司主营业务为半导体集成电路封装测试。
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