半导体装备上市公司龙头有哪些？据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体装备上市公司龙头有：
至纯科技：半导体装备龙头。
公司出资1.5亿元参与投资天津海河至汇光电创业投资合伙企业（有限合伙），海河至汇的认缴出资总额为3.8亿元，存续期内可增加至不超过12亿元，主要投向光电子及泛半导体相关领域。
至纯科技在近30日股价下跌21.16%，最高价为35.26元，最低价为32.26元。当前市值为96.09亿元，2026年股价下跌-19.15%。
芯源微：半导体装备龙头。
近30日股价下跌12.71%，2026年股价上涨13.64%。
先导基电：半导体装备龙头。
回顾近30个交易日，先导基电股价下跌6.17%，总市值下跌了12.19亿，当前市值为179.8亿元。2026年股价下跌-1.1%。
中微公司：半导体装备龙头。
回顾近30个交易日，中微公司股价下跌5.11%，总市值下跌了294.29亿，当前市值为1952.88亿元。2026年股价上涨2.8%。
长电科技：半导体装备龙头。
近30日长电科技股价上涨12.03%，最高价为54.63元，2026年股价上涨18.05%。
半导体装备股票其他的还有：
机器人：
在近3个交易日中，机器人有2天上涨，期间整体上涨0.3%，最高价为16.68元，最低价为16.21元。和3个交易日前相比，机器人的市值上涨了7828.1万元。
精测电子：
精测电子近3日股价有2天下跌，下跌6.17%，2026年股价上涨29.85%，市值为357.99亿元。
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