2026年第一季度，芯片设备概念上市公司研发投入排行榜中，北方华创（002371）研发投入总额高达14.02亿，中微公司（688012）和长盈精密（300115）排名第二和第三，长川科技（300604）、晶盛机电（300316）、盛美上海（688082）、中科飞测（688361）、精测电子（300567）、拓荆科技（688072）、华海清科（688120）进入前十，研发投入总额分别排名第4-10名。
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