10月13日该股主力净入2127.28万元，其中资金流入方面：超大单净入8997.55万元，大单净入3.45亿元，中单净入8.43亿元，散户净入81.91万元；资金流出方面：超大单净出9776.14万元，大单净出3.16亿元，中单净出8.6亿元，散户净出545.06万元。
近5日资金流向一览见下表：
芯源微（688037）主营业务为半导体专用设备。芯源微2026年第二季度显示，公司主营收入5.66亿元，同比30.53%；归母净利润455.33万元，同比-59.58%；扣非净利润-3756.88万元，同比-297.04%。
在所属热处理设备概念2026年第二季度营业总收入同比增长中，先导基电、艾迪精密、拓荆科技、航宇科技等12家是超过30%以上的企业；威博液压、博威合金、芯源微、纽威数控、北方华创等7家位于20%-30%之间；骏创科技、盛美上海、微导纳米等7家位于10%-20%之间；新威凌、恒进感应、联创光电、五洲新春、大胜达等22家均不足10%。
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