10月13日该股主力净入2647.34万元，其中资金流入方面：超大单净入5.01亿元，大单净入12.99亿元，中单净入21.96亿元，散户净入122.1万元；资金流出方面：超大单净出5.09亿元，大单净出12.64亿元，中单净出22.14亿元，散户净出1014.42万元。
近5日资金流向一览见下表：
中微公司（688012）主营业务为半导体微观加工设备。中微公司2026年第二季度财报显示，公司主营收入37.76亿元，同比35.48%；归母净利润18.95亿元，同比382.32%；扣非净利润6.45亿元，同比168.24%。
在所属膜设备概念2026年第二季度营业总收入同比增长中，中微公司、三达膜、津膜科技等3家是超过30%以上的企业；四川九洲位于20%-30%之间；水晶光电位于10%-20%之间；立霸股份、沃顿科技、中光学、双星新材等7家均不足10%。
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