据南方财富网概念查询工具数据显示，国产光刻机板块龙头股票有：
茂莱光学（688502）：
龙头，9月30日消息，资金净流入4248.29万元，超大单资金净流入4053.86万元，成交金额5.07亿元。
为光刻机提供匀光模块与投影物镜，助力芯片微观图形精确印制。
2024年，公司实现净利润3552.1万，同比增长率为-23.98%，近4年复合增长-9.03％。
张江高科（600895）：
龙头，9月30日消息，张江高科主力净流入3.89亿元，超大单净流入5.94亿元，散户净流出2.73亿元。
2024年，公司净利润9.82亿，近五年复合增长为-14.31%；毛利率56.77%，每股收益0.63元。
海立股份（600619）：
龙头，9月30日主力资金净流出1.3亿元，超大单资金净流出4510.81万元，换手率9.07%，成交金额18.08亿元。
2024年报显示，海立股份实现净利润3384.85万，同比上年增长率为10.93%，近5年复合增长-32.44％。
苏大维格（300331）：
龙头，9月30日资金净流入345.84万元，超大单净流出1594.33万元，换手率11.43%，成交金额8.55亿元。
2024年，苏大维格公司实现净利润-5805万，同比增长-27.06%。
同飞股份（300990）：
龙头，资金流向数据方面，9月30日主力资金净流流入2693.92万元，超大单资金净流出833.86万元，大单资金净流入3527.78万元，散户资金净流出3425.56万元。
同飞股份公司2024年实现净利润1.53亿，同比上年增长率为-15.87%，近3年复合增长9.56％。
福晶科技（002222）：
龙头，9月30日消息，福晶科技资金净流入7063.23万元，超大单资金净流入2463.6万元，换手率4.27%，成交金额9.91亿元。
2024年，公司实现净利润2.19亿，同比增长4.65%，近五年复合增长为11.08%；毛利率53.76%。
冠石科技（605588）：
龙头，9月30日消息，资金净流入2802.75万元，超大单净流入272.46万元，成交金额4.79亿元。
公司2024年净利润-1545.51万，同比上年增长率为-129.6%。
蓝英装备（300293）：
龙头，9月29日该股主力净入-2012.97万元，其中资金流入方面：超大单净入1269.49万元，大单净入6013.59万元，中单净入1.18亿元，散户净入1.2亿元；资金流出方面：超大单净出1224.54万元，大单净出8071.51万元，中单净出1.23亿元，散户净出9516.33万元。
蓝英装备公司2024年实现净利润-2175.89万，同比上年增长率为-3.71%，近3年复合增长-36.81％。
国产光刻机板块股票其他的还有：
飞乐音响600651：回顾近7个交易日，飞乐音响有4天下跌。期间整体下跌4.37%，最高价为8.7元，最低价为9.6元，总成交量5.84亿手。
上海机电600835：近7日XD上海机股价下跌0.15%，2025年股价上涨34.91%，最高价为29.78元，市值为281.56亿元。
电科数字600850：回顾近7个交易日，电科数字有3天下跌。期间整体下跌3.62%，最高价为29.27元，最低价为30.66元，总成交量1.38亿手。
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