据南方财富网概念查询工具数据显示，极紫外光刻上市公司有：
大恒科技（600288）：10月20日消息，大恒科技截至11时30分，该股报14.560元，涨3.49%，3日内股价上涨1.79%，总市值为63.6亿元。
公司光机电一体化产品包括，超快激光器及太赫兹相关应用系统产品，用于激光卫星测距和工业精密加工的皮秒激光器，用于太赫兹光谱仪光源、光栅刻蚀的飞秒激光器等，产品被广泛应用于激光加工设备、激光医疗、探测传感、生化分析、环境监测、视频光学、光纤通讯、光损伤防护、教育科研等领域；公司所承担的科技部重大仪器专项“基于飞秒激光的太赫兹时域光谱仪”、“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”项目完成预验收工作，已报正式验收。
净利-3201.64万、同比增长-164.15%。
英诺激光（301021）：10月20日消息，英诺激光最新报价37.300元，3日内股价下跌2.06%；今年来涨幅上涨30.59%，市盈率为258.13。
公司产品包括DPSS调Q纳秒激光器、超短脉冲激光器和MOPA激光器，涵括从红外到深紫外不同波段、从纳秒到飞秒多种脉宽。
净利2183.18万、同比增长585.24%，截至2025年10月10日市值为60.75亿。
蓝英装备（300293）：10月20日开盘消息，蓝英装备最新报23.370元，成交量685.32万手，总市值为79.09亿元。
公司控股子公司UCMAG为荷兰光刻机制造商ASML公司提供精密清洗解决方案，在某特定工艺上公司是其全球唯一供应商。
净利-2175.89万、同比增长-3.71%。
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