据南方财富网概念查询工具数据显示，2025年光刻机上市公司龙头股有：
蓝英装备300293：光刻机龙头股。
截至12月31日下午三点收盘，蓝英装备报21.120元，跌0.28%，换手率1.58%，成交量443.06万手，市值为71.48亿元。
公司精密清洗业务的客户包括光刻机制造企业的合资（参股）公司，该等客户负责制造光刻机的核心光学系统。瑞士子公司UCMAG为AMSL及其供应商提供极紫外光刻机（EUV）的光学系统相关关键部件的清洗设备。
华特气体688268：光刻机龙头股。
截止12月31日下午三点收盘，华特气体(688268)跌0.45%，股价为57.390元，盘中股价最高触及58.47元，最低达57.3元，总市值69.04亿元。
光刻机概念股其他的还有：
兴发集团：近5个交易日，兴发集团期间整体下跌0.9%，最高价为35.76元，最低价为34.5元，总市值下跌了3.42亿。
长电科技：近5个交易日股价下跌0.95%，最高价为37.4元，总市值下跌了6.26亿，当前市值为658.15亿元。
旭光电子：近5个交易日股价下跌2.67%，最高价为16.79元，总市值下跌了3.57亿，当前市值为133.79亿元。
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