据南方财富网概念查询工具数据显示，相关半导体设备精密零部件概念股有：
（1）、有研新材：
有研新材从近五年净利润复合增长来看，近五年净利润复合增长为20.91%，过去五年净利润最低为2019年的1.06亿元，最高为2022年的2.7亿元。
近5个交易日股价下跌14.46%，最高价为25.72元，总市值下跌了27.51亿。
（2）、江丰电子：
从近五年营收复合增长来看，江丰电子近五年营收复合增长为33.26%，过去五年营收最低为2019年的8.25亿元，最高为2023年的26.02亿元。
近5日股价上涨3.53%，2024年股价上涨22.37%。
（3）、中瓷电子：
从近五年营收复合增长来看，中瓷电子近五年营收复合增长为45.9%，过去五年营收最高为2023年的26.76亿元，最低为2019年的5.9亿元。
回顾近5个交易日，中瓷电子有3天上涨。期间整体上涨5.3%，最高价为57.1元，最低价为52.49元，总成交量1552.42万手。
（4）、富创精密：
从近三年营收复合增长来看，近三年营收复合增长为56.53%，过去三年营收最低为2021年的8.43亿元，最高为2023年的20.66亿元。
公司是国内半导体设备精密零部件的领军企业。
近5个交易日股价上涨4.81%，最高价为63.8元，总市值上涨了9.15亿。
（5）、至纯科技：
从近三年净利润复合增长来看，近三年净利润复合增长为15.71%，最高为2023年的3.77亿元。
近5个交易日，至纯科技期间整体下跌0.11%，最高价为26.68元，最低价为25.58元，总市值下跌了1158.75万。
（6）、正帆科技：
从公司近五年营收复合增长来看，近五年营收复合增长为34.1%，过去五年营收最低为2020年的11.09亿元，最高为2023年的38.35亿元。
回顾近5个交易日，正帆科技有4天上涨。期间整体上涨10.56%，最高价为39.6元，最低价为34.4元，总成交量2853.01万手。
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