据南方财富网概念查询工具数据显示，集成电路装备概念上市公司有：
1、中微公司：中微公司（688012）10日内股价上涨6.69%，最新报260.960元/股，涨14.86%，今年来涨幅上涨16.74%。
中微公司从近五年ROE来看，近五年ROE均值为10.1%，过去五年ROE最低为2022年的7.94%，最高为2020年的12.11%。
2、拓荆科技：9月18日消息，今日拓荆科技(688072)12时03分报价216.890元，涨8.01%，盘中最高价为226.9元，7日内股价上涨12.02%，市值为606.7亿元，换手率3.92%。
从拓荆科技近三年ROE来看，近三年ROE均值为14.44%，过去三年ROE最低为2022年的13.13%，最高为2023年的16.09%。
3、北方华创：9月18日消息，北方华创7日内股价上涨4.88%，最新报418.100元，市盈率为39.55。
从近五年净利润来看，北方华创近五年净利润均值为26.97亿元，过去五年净利润最低为2020年的5.37亿元，最高为2024年的56.21亿元。
公司从事基础电子产品的研发，生产，销售，主要产品为大规模集成电路制造设备，混合集成电路及电子元件。
4、华海清科：9月18日盘中消息，华海清科（688120）股价报133.470元/股，涨5.93%。7日内股价上涨5.4%，今年来涨幅下跌-29.36%，成交总金额15.34亿元，成交量1173.18万手。
华海清科从近三年净利率来看，近三年净利率均值为29.78%，过去三年净利率最低为2023年的28.86%，最高为2022年的30.42%。
5、盛美上海：截止9月18日12时03分盛美上海（688082）涨4.97%，报158.870元/股，3日内股价上涨2.57%，换手率1.51%，成交额10.33亿元。
盛美上海从近五年总资产收益率来看，近五年总资产收益率均值为9.78%，过去五年总资产收益率最低为2021年的6.51%，最高为2020年的12.49%。
数据由南方财富网提供，仅供参考，不构成投资建议，据此操作，风险自担。股市有风险，投资需谨慎。
南方财富网声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。