据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体光刻概念股票有：
1、华懋科技：9月29日该股主力净入-3404.76万元，其中资金流入方面：超大单净入5437.62万元，大单净入1.36亿元，中单净入1.59亿元，散户净入1.64亿元；资金流出方面：超大单净出9557.42万元，大单净出1.29亿元，中单净出1.61亿元，散户净出1.28亿元。
回顾近3个交易日，华懋科技有2天上涨，期间整体上涨10.81%，最高价为50元，最低价为56.06元，总市值上涨了19.94亿元，上涨了10.81%。
从华懋科技近三年总资产收益率来看，近三年总资产收益率均值为5.32%，过去三年总资产收益率最低为2023年的5.15%，最高为2022年的5.67%。
2、万业企业：9月30日消息，万业企业主力资金净流入1.06亿元，超大单资金净流入1.94亿元，散户资金净流出4699.36万元。
在近3个交易日中，万业企业有2天上涨，期间整体上涨16.59%，最高价为22元，最低价为18.33元。和3个交易日前相比，万业企业的市值上涨了33.97亿元。
从公司近五年ROE来看，近五年ROE均值为3.73%，过去五年ROE最低为2024年的1.32%，最高为2021年的5.34%。
3、新莱应材：资金流向数据方面，9月30日主力资金净流流入1.22亿元，超大单资金净流入2.15亿元，大单资金净流出9315.69万元，散户资金净流入2906.07万元。
新莱应材在近3个交易日中有2天上涨，期间整体上涨10.53%，最高价为47.68元，最低价为40.84元。2025年股价上涨40.67%。
从近五年ROTA来看，公司近五年ROTA均值为6.21%，过去五年ROTA最低为2020年的3.5%，最高为2022年的10.42%。
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