据南方财富网概念查询工具数据显示，集成电路设备上市公司有：
万业企业（600641）：
从公司近三年总资产收益率来看，近三年总资产收益率均值为1.62%，过去三年总资产收益率最低为2024年的-0.06%，最高为2022年的4.09%。
截止2019年03月31日国家集成电路产业投资基金股份有限公司持股比例为7.0%。
近3日万业企业股价上涨16.59%，总市值上涨了38.16亿元，当前市值为204.74亿元。2025年股价上涨33.55%。
长电科技（600584）：
从近三年毛利率来看，长电科技近三年毛利率均值为14.58%，过去三年毛利率最低为2024年的13.06%，最高为2022年的17.04%。
公司获得国家集成电路产业投资基金股份有限公司投资，持股比例占总股本比例为19%。
长电科技近3日股价有1天上涨，上涨6.26%，2025年股价上涨7.33%，市值为788.95亿元。
至纯科技（603690）：
从近三年总资产收益率来看，近三年总资产收益率均值为1.91%，过去三年总资产收益率最低为2024年的-0.44%，最高为2022年的3.15%。
国内能提供到28纳米节点全部湿法工艺的本土供应商；公司目前80%的业务服务于集成电路领域，主营业务主要包括半导体制程设备、系统集成及支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的部件材料及专业服务；公司为半导体及相关高科技新兴产业客户提供湿法工艺整体解决方案。
近3日至纯科技上涨4.09%，现报30.55元，2025年股价上涨17.81%，总市值117.2亿元。
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