据南方财富网概念查询工具数据显示，晶圆设备概念股有：
至纯科技：从至纯科技近三年ROTA来看，近三年ROTA均值为1.91%，过去三年ROTA最低为2024年的-0.44%，最高为2022年的3.15%。
近5个交易日股价上涨0.39%，最高价为31.81元，总市值上涨了4603.74万，当前市值为117.2亿元。
芯源微：从近三年ROTA来看，公司近三年ROTA均值为5.94%，过去三年ROTA最低为2024年的4.07%，最高为2022年的7.34%。
近5个交易日，芯源微期间整体上涨2.38%，最高价为153.48元，最低价为131.13元，总市值上涨了7.65亿。
中大力德：从近三年ROTA来看，近三年ROTA均值为4.56%，过去三年ROTA最低为2024年的4.44%，最高为2023年的4.75%。
公司是从事机械传动与控制应用领域关键零部件的研发、生产、销售和服务的高新技术企业，主要产品包括精密减速器、传动行星减速器、各类小型及微型减速电机等，为各类机械设备提供安全、高效、精密的动力传动与控制应用解决方案。
近5个交易日，中大力德期间整体下跌1.5%，最高价为99.24元，最低价为94.17元，总市值下跌了2.85亿。
鼎龙股份：鼎龙股份从近三年ROTA来看，近三年ROTA均值为7.4%，过去三年ROTA最低为2023年的4.67%，最高为2024年的9.06%。
在近5个交易日中，鼎龙股份有2天下跌，期间整体下跌1.96%。和5个交易日前相比，鼎龙股份的市值下跌了6.24亿元，下跌了1.82%。
盛美上海：从近三年ROTA来看，盛美上海近三年ROTA均值为9.97%，过去三年ROTA最低为2022年的9.21%，最高为2024年的10.54%。
近5日盛美上海股价上涨6.24%，总市值上涨了133.5亿，当前市值为968.42亿元。2025年股价上涨50.45%。
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