据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体装备龙头股上市公司有：
至纯科技：龙头股。以1.5亿元参投海河至汇其主投光电子及泛半导体相关领域。
12月10日该股主力净入1706.93万元，其中资金流入方面：超大单净入3044.48万元，大单净入9921.98万元，中单净入1.57亿元，散户净入1.44亿元；资金流出方面：超大单净出2265.25万元，大单净出8994.28万元，中单净出1.55亿元，散户净出1.62亿元。
中微公司：龙头股。
12月10日该股主力净入-1.29亿元，其中资金流入方面：超大单净入3.06亿元，大单净入7.86亿元，中单净入14.58亿元，散户净入59.28万元；资金流出方面：超大单净出4.51亿元，大单净出7.7亿元，中单净出13.19亿元，散户净出1041.78万元。
长电科技：龙头股。
12月10日该股主力净入6440.47万元，其中资金流入方面：超大单净入1.51亿元，大单净入3.02亿元，中单净入3.45亿元，散户净入3.1亿元；资金流出方面：超大单净出1.28亿元，大单净出2.61亿元，中单净出3.83亿元，散户净出3.37亿元。
半导体装备上市公司其他的还有：
机器人：机器人近7个交易日，期间整体上涨4.18%，最高价为16.96元，最低价为18.36元，总成交量2.4亿手。2025年来下跌-1.36%。
精测电子：在近7个交易日中，精测电子有4天上涨，期间整体上涨10.6%，最高价为76.32元，最低价为66.85元。和7个交易日前相比，精测电子的市值上涨了22.3亿元。
数据由南方财富网提供，仅供参考，不构成投资建议，据此操作，风险自担。股市有风险，投资需谨慎。
南方财富网声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。