据南方财富网概念库数据显示，上市半导体设备零部件公司有：
万业企业（600641）：
拟20亿元投建半导体翻新装备项目。
近5个交易日股价上涨6.79%，最高价为19.09元，总市值上涨了11.91亿。
旭光电子（600353）：
公司是国家科技部、中国科学院认定的高新技术企业，也是“中国500家最大电子及通讯设备企业”之一。
近5个交易日股价上涨7.3%，最高价为17.48元，总市值上涨了10.46亿。
汉钟精机（002158）：
回顾近5个交易日，汉钟精机有4天下跌。期间整体下跌0.96%，最高价为25.86元，最低价为25.14元，总成交量5098.7万手。
富创精密（688409）：
是国内半导体设备精密零部件企业，为新凯来的第一大供应商。主要为新凯来供应工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路等。
近5个交易日股价上涨14.93%，最高价为82.94元，总市值上涨了36.44亿。
国力股份（688103）：
回顾近5个交易日，国力电子有4天上涨。期间整体上涨7.21%，最高价为66.32元，最低价为60.31元，总成交量798.22万手。
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