据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体装备概念股龙头股有：
晶盛机电300316：半导体装备龙头股，1月12日消息，晶盛机电资金净流出-1.06亿元，超大单资金净流入-4053.02万元，最新报40.920元，换手率4.23%，成交总金额21.12亿元。
晶盛机电2025年第三季度季报显示，公司实现净利润2.62亿，同比增长-69.65%；毛利润为7.23亿，毛利率29.21%。
20年8月底披露，公司最新开发出第三代半导体碳化硅单晶炉、外延设备，其中碳化硅单晶炉已经交付客户使用，外延设备完成技术验证，产业化前景较好。
中微公司688012：半导体装备龙头股，1月12日消息，中微公司7日内股价上涨22.67%，截至收盘，该股报352.690元，涨4.76%，总市值为2208.35亿元。
2025年第三季度中微公司净利润5.05亿，同比增长27.5%；毛利润为11.75亿，毛利率37.89%。
万业企业600641：半导体装备龙头股，1月12日消息，先导基电7日内股价上涨8.73%，截至下午3点收盘，该股报19.240元，跌0.1%，总市值为179.05亿元。
先导基电2025年第三季度季报显示，公司实现净利润-2213.89万，同比增长-156.57%；毛利润为8765.7万，毛利率23.71%。
半导体装备股票其他的还有：
机器人300024：机器人（300024）10日内股价上涨7.47%，最新报19.290元/股，涨3.71%，今年来涨幅上涨3.53%。
精测电子300567：2026年1月12日，近3日精测电子股价上涨0.02%，现报109.570元，总市值为306.52亿元，换手率6.22%。
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