据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体设备材料零部件自主可控题材龙头有：
珂玛科技（301611）：龙头股，2月13日该股主力净流入6355.64万元，超大单净流入902.42万元，大单净流入5453.22万元，中单净流出6379.23万元，散户净流入23.59万元。
公司2024年实现净利润3.11亿，同比上年增长率为279.88%，近3年复合增长82.63％。
上海新阳（300236）：龙头股，2月13日消息，资金净流入1015.28万元，超大单资金净流出469.14万元，成交金额5.25亿元。
2024年报显示，上海新阳实现净利润1.76亿，同比增长5.32%，近五年复合增长为-9.82%；毛利率39.29%。
彤程新材（603650）：龙头股，2月13日消息，彤程新材资金净流入6163.14万元，超大单净流入2927.51万元，换手率2.83%，成交金额10.25亿元。
2024年公司营收32.7亿，同比去年增长11.1%；毛利率24.84%。
矽电股份（301629）：龙头股，资金流向数据方面，2月13日主力资金净流流入1060.91万元，超大单资金净流出212.61万元，大单资金净流入1273.53万元，散户资金净流出1756.84万元。
矽电股份公司2024年的净利润9186.82万元，同比增长2.97%。
芯源微（688037）：龙头股，2月13日消息，芯源微主力资金净流入1617.24万元，超大单资金净流入2692.07万元，散户资金净流出461万元。
2024年实现营业收入17.54亿元，同比增长2.13%；归属于上市公司股东的净利润2.03亿元，同比增长-19.08%。
半导体设备材料零部件自主可控板块股票其他的还有：
清溢光电688138：近7日股价上涨0.43%，2026年股价上涨3.64%。
神工股份688233：神工股份近7个交易日，期间整体上涨1.41%，最高价为82.3元，最低价为86.5元，总成交量3878.8万手。2026年来上涨11.4%。
联瑞新材688300：联瑞新材近7个交易日，期间整体上涨0.94%，最高价为61.87元，最低价为64.39元，总成交量2463.91万手。2026年来下跌-1.46%。
本文相关数据仅供参考，不构成投资建议，据此操作，风险自担。股市有风险，投资需谨慎。
南方财富网声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。