据南方财富网概念查询工具数据显示，2025年光刻机零部件龙头上市公司有：
富创精密：龙头股，2024年，公司实现净利润2.03亿，同比增长率为20.13%，近4年复合增长17.01％。
回顾近30个交易日，富创精密上涨19.99%，最高价为77.33元，总成交量2.37亿手。
炬光科技：龙头股，2024年报显示，公司的营业收入6.2亿元，同比增长10.49%，近3年复合增长6%。
供货给全球光学公司和ASML核心设备，也支持国内光刻机研发项目。
炬光科技在近30日股价上涨34.79%，最高价为186.22元，最低价为96.68元。当前市值为137.19亿元，2025年股价上涨58.28%。
福晶科技：龙头股，2024年公司实现营业收入8.76亿元，同比增长12.04%；归属于上市公司股东的净利润2.19亿元，同比增长4.65%。
回顾近30个交易日，福晶科技股价上涨16.26%，总市值下跌了15.38亿，当前市值为233.71亿元。2025年股价上涨34.81%。
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