东方嘉盛：龙头，
东方嘉盛公司位于深圳市前海深港合作区南山街道临海大道53号招商保税前海仓四号仓库4401，主要从事综合供应链管理服务。从2021年到2024年，公司净资产收益率分别为13%、7.7%、7.43%、8.33%。 营业收增长分别为2.33%、2.5%、-4.61%、31.79%。
回顾近30个交易日，东方嘉盛股价上涨5.42%，最高价为16.75元，当前市值为60.65亿元。
公司上半年向深圳海关申请设立寄售维修保税仓库已获批通过，七月初公司已经中标，将与国际头部芯片光刻机厂商合作，共同在深圳建设寄售维修保税仓库，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的光刻机寄售维修服务。
华懋科技：龙头，
据年报数据显示，华懋科技过去一年实现营业收入22.13亿，同比增长7.67%，近5年复合年增长率23.56%；净利润2.77亿，近5年复合年增长率8.39%；净利率12.16%，近5年复合年增长率-12.94%；毛利率30.92%，近5年复合年增长率-3.64%。
回顾近30个交易日，华懋科技下跌8.49%，最高价为53.77元，总成交量2.8亿手。
凯美特气：龙头，
在总资产周转率方面，从2021年到2024年，分别为0.4次、0.44次、0.22次、0.2次。
近30日股价下跌22.1%，2025年股价上涨69.49%。
芯源微：龙头，
芯源微2025年第三季度季报显示，公司实现净利润-2597.34万元，毛利率30.12%，每股收益-0.13元。
回顾近30个交易日，芯源微上涨4.07%，最高价为137.65元，总成交量1.49亿手。
光刻机概念股其他的还有：
安泰科技：公司一种钨合金产品可用于某型号光刻机设备。
联合精密：投资光刻机零部件铸件（但后续无实质性进展）。
红宝丽：公司一异丙醇胺可用于电子化学品之光刻胶清洗剂，为公司在国内市场重点拓展的应用领域。（历史大妖股，虽不是光刻胶的突出属性，但因为股性好也经常作为套利出现）。
普利特：子公司上海普利特半导体材料有限公司持股25%的苏州理硕科技有限公司是一家从事平板显示器和半导体芯片用光刻胶及光刻工艺材料研发和生产的高科技企业。
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