据南方财富网概念查询工具数据显示，国产光刻机上市龙头企业有：
苏大维格300331：国产光刻机龙头股，
公司光刻设备主要为紫外光刻直写设备，主要用于柔性电子、MEMS以及半导体上游器件等产品的研发与制造；研发并布局了AR光子芯片技术。
近7个交易日，苏大维格下跌1.7%，最高价为30.87元，总市值下跌了1.35亿元，2025年来上涨29.41%。
海立股份600619：国产光刻机龙头股，
近7日股价上涨0.1%，2025年股价上涨41.2%。
冠石科技605588：国产光刻机龙头股，
近7个交易日，冠石科技下跌3.05%，最高价为51.47元，总市值下跌了1.12亿元，2025年来上涨18.87%。
国产光刻机概念股其他的还有：
飞乐音响：在近5个交易日中，飞乐音响有4天上涨，期间整体上涨3.5%。和5个交易日前相比，飞乐音响的市值上涨了7.27亿元，上涨了3.5%。
上海机电：近5个交易日股价下跌2.01%，最高价为29.65元，总市值下跌了5.83亿，当前市值为287.9亿元。
电科数字：近5日电科数字股价上涨4.32%，总市值上涨了7.89亿，当前市值为181.61亿元。2025年股价上涨11.02%。
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