干法刻蚀机概念股有哪些上市公司？
干法刻蚀机行业概念股票有： 北方华创、芯源微。
中微公司（688037）：从近三年扣非净利润复合增长来看，过去三年扣非净利润最低为2024年的7330.66万元，最高为2023年的1.87亿元。产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机）。
15时收盘芯源微(688037)报169.480元，今日开盘报285.15元，跌0.44%，当日最高价为288元，换手率2.36%，成交额7.97亿元，7日内股价下跌13.46%。
5月22日主力资金净流入2944.33万元，超大单资金净流入7736.52万元，换手率2.36%，成交金额7.97亿元。
北方华创（688233）：从近三年扣非净利润复合增长来看，过去三年扣非净利润最低为2023年的-7155.53万元，最高为2022年的1.56亿元。是国内领先的集成电路刻蚀用单晶硅材料供应商。
5月20日收盘消息，神工股份报72.010元/股，涨5.91%。今年来涨幅上涨5.62%，成交总金额3.06亿元。
资金流向数据方面，5月22日主力资金净流流出6370.2万元，超大单资金净流出4139.32万元，大单资金净流出2230.88万元，散户资金净流入7972.41万元。
神工股份（002371）：从近三年扣非净利润复合增长来看，公司近三年扣非净利润复合增长为22.06%，过去三年扣非净利润最低为2022年的21.06亿元，最高为2024年的55.7亿元。目前已具备28nm设备供货能力，硅刻蚀机已突破14nm技术，ICP刻蚀机1000腔顺利交付。
5月22日消息，北方华创截至15时，该股跌3.26%，报465.500元，5日内股价下跌5.82%，总市值为3374.1亿元。
5月22日消息，北方华创主力净流出2.67亿元，超大单净流出1.75亿元，散户净流出121.48万元。
芯源微（688012）：从公司近三年扣非净利润复合增长来看，近三年扣非净利润复合增长为14.05%，过去三年扣非净利润最低为2022年的9.19亿元，最高为2024年的13.88亿元。5nm刻蚀设备获台积电认证，先进封装领域布局CCP刻蚀及TSV设备。
5月21日收盘消息，中微公司截至下午3点收盘，该股报311.890元，涨1.03%，7日内股价下跌9.9%，总市值为1952.88亿元。
5月22日消息，中微公司主力资金净流出6.01亿元，超大单资金净流出2.05亿元，散户资金净流出707.89万元。
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