干法刻蚀机行业概念股票有： 北方华创、芯源微。
北方华创（688037）：
北方华创在毛利率方面，芯源微从2022年到2025年，分别为38.4%、38.53%、37.67%、35.39%。
产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)。
5月21日消息，芯源微资金净流出2.39亿元，超大单净流出2.02亿元，换手率2.36%，成交金额7.97亿元。
神工股份（688233）：
神工股份公司在毛利率方面，从2022年到2025年，分别为47.28%、0.09%、33.69%、44.75%。
刻蚀设备用单晶硅电极材料龙头厂商。
5月8日该股主力净入886.02万元，其中资金流入方面：超大单净入7339.69万元，大单净入1.81亿元，中单净入2.08亿元，散户净入1.63亿元；资金流出方面：超大单净出9216.07万元，大单净出1.54亿元，中单净出2.03亿元，散户净出1.77亿元。
芯源微（002371）：
芯源微公司在毛利率方面，从2022年到2025年，分别为43.83%、40.78%、42.85%、40.1%。
国内半导体设备平台型龙头，覆盖刻蚀、PVD、CVD、氧化扩散、清洗炉等多类设备。
5月21日消息，北方华创主力净流入6.23亿元，超大单净流入10.34亿元，散户净流出557.99万元。
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