据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机板块龙头股票有：
蓝英装备（300293）：
龙头股，7月29日该股主力资金净流出6344.69万元，超大单资金净流出18.17万元，大单资金净流出6326.52万元，中单资金净流出1560.63万元，散户资金净流入7905.33万元。
控股子公司UCMAG为荷兰光刻机制造商ASML公司提供精密清洗解决方案，在光刻机的维护和保养方面发挥作用。
公司2024年实现净利润-2175.89万，毛利率27.31%，每股收益-0.06元。
上海新阳（300236）：
龙头股，7月29日消息，上海新阳7月29日主力资金净流出3099.25万元，超大单资金净流出287.71万元，大单资金净流出2811.54万元，散户资金净流入6965.02万元。
2024年，公司实现净利润1.76亿，同比增长5.32%，近三年复合增长为81.68%；每股收益0.57元。
海立股份（600619）：
龙头股，7月29日消息，海立股份7月29日主力净流出1.41亿元，超大单净流出8138.62万元，大单净流出5931.84万元，散户净流入1.86亿元。
2023年，海立股份公司实现净利润3051.29万，同比增长-13.94%，近三年复合增长为-69.26%；每股收益0.03元。
东方嘉盛（002889）：
龙头股，7月29日该股主力净流出1259.44万元，超大单净流出189.75万元，大单净流出1069.7万元，中单净流出627.8万元，散户净流入1887.25万元。
公司2023年净利润1.59亿，同比上年增长率为2.76%。
大族激光（002008）：
龙头股，7月29日消息，大族激光7月29日主力净流出1.06亿元，超大单净流出4980.39万元，大单净流出5603.13万元，散户净流入6690.53万元。
2024年，公司实现净利润16.94亿，同比增长率为106.52%，近4年复合增长-5.3％。
南大光电（300346）：
龙头股，7月29日消息，南大光电主力资金净流出6310.48万元，超大单资金净流出3940.65万元，散户资金净流入5592.16万元。
公司2024年实现净利润2.71亿，毛利率41.16%，每股收益0.49元。
张江高科（600895）：
龙头股，7月29日该股主力资金净流出1.36亿元，超大单资金净流出4489.59万元，大单资金净流出9154.56万元，中单资金净流出889.02万元，散户资金净流入1.45亿元。
2024年，公司实现净利润9.82亿，同比增长3.64%，近三年复合增长为9.31%；每股收益0.63元。
华特气体（688268）：
龙头股，资金流向数据方面，7月29日主力资金净流流入852.13万元，超大单资金净流入259.42万元，大单资金净流入592.71万元，散户资金净流出1121.53万元。
2024年报显示，华特气体净利润1.85亿，毛利率31.9%，每股收益1.54元。
光刻机板块股票其他的还有：
东材科技601208：近7个交易日，东材科技上涨11.19%，最高价为14.85元，总市值上涨了17.58亿元，2025年来上涨56.94%。
上海机电600835：上海机电近7个交易日，期间整体上涨16.73%，最高价为22.2元，最低价为29元，总成交量2.5亿手。2025年来上涨33.68%。
万业企业600641：近7日股价上涨6.56%，2025年股价上涨3.11%。
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