据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻设备上市公司龙头有：
蓝英装备：
光刻设备龙头。2025年第一季度，蓝英装备实现营业总收入2.58亿元，同比增长-8.14%；实现扣非净利润-530.79万元，同比增长-459.45%；毛利润为7528.55万。
近7个交易日，蓝英装备上涨1.81%，最高价为26.5元，总市值上涨了1.66亿元，上涨了1.81%。
苏大维格：
光刻设备龙头。2025年第一季度季报显示，苏大维格公司营收同比增长-3.93%至4.53亿元，苏大维格毛利润为9457.96万，毛利率20.89%，扣非净利润同比增长-45.29%至623.24万元。
公司相继开发多个系列覆盖纳米级和微米级的光刻机与压印设备，已关注到纳米压印光刻在集成电路和芯片制造领域具备替代传统光刻的应用潜力，并在积极布局。公司高端智能装备包括直写光刻、3D光刻、投影/扫描光刻、纳米压印光刻设备等部分直写光刻设备已向国内外高校及科研院所、国内企业等销售。
在近7个交易日中，苏大维格有4天上涨，期间整体上涨5.54%，最高价为24.6元，最低价为22.27元。和7个交易日前相比，苏大维格的市值上涨了3.4亿元。
福晶科技：
光刻设备龙头。福晶科技在扣非净利润方面，从2021年到2024年，分别为1.8亿元、2.15亿元、1.94亿元、2.16亿元。
在近7个交易日中，福晶科技有4天上涨，期间整体上涨4.52%，最高价为42.9元，最低价为40.13元。和7个交易日前相比，福晶科技的市值上涨了8.98亿元。
奥普光电：
光刻设备龙头。奥普光电2025年第一季度营收同比增长-3.63%至1.66亿元；净利润为1381.38万，同比增长-19.31%，毛利润为5880.49万，毛利率35.44%。
近7个交易日，奥普光电上涨10.28%，最高价为49.67元，总市值上涨了13.75亿元，上涨了10.28%。
张江高科：
光刻设备龙头。2025年第一季度季报显示，公司净利润2.94亿，同比上年增长率为147.38%。
近7日股价下跌0.26%，2025年股价上涨22.34%。
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