据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机核心部件龙头上市公司有：
蓝英装备：龙头，近3日蓝英装备股价上涨2.08%，总市值上涨了1015.31万元，当前市值为73.1亿元。2025年股价下跌-5.19%。
从近三年净利润复合增长来看，公司近三年净利润复合增长为-36.81%，最高为2023年的-2098.11万元。
同飞股份：龙头，回顾近3个交易日，同飞股份有2天上涨，期间整体上涨23.37%，最高价为73.49元，最低价为104.5元，总市值上涨了38.41亿元，上涨了23.37%。
从同飞股份近三年净利润复合增长来看，近三年净利润复合增长为9.56%，最高为2023年的1.82亿元。
奥普光电：龙头，回顾近3个交易日，奥普光电有1天上涨，期间整体上涨1.09%，最高价为54.51元，最低价为59.4元，总市值上涨了1.51亿元，上涨了1.09%。
从近三年净利润复合增长来看，公司近三年净利润复合增长为-9.89%，最高为2023年的8663.52万元。
中国科学院长春光机所旗下唯一控股上市企业，国内高端光栅编码器企业，潜在用途包括光刻机。禹衡光学半导体领域光栅尺完成小批量验证。
光刻机核心部件概念股其他的还有：
炬光科技：炬光科技近7个交易日，期间整体上涨11.48%，最高价为155元，最低价为189.44元，总成交量4699.11万手。2025年来上涨63.86%。
腾景科技：腾景科技近7个交易日，期间整体上涨0.96%，最高价为174.51元，最低价为188元，总成交量7437.29万手。2025年来上涨77.34%。
美埃科技：近7个交易日，美埃科技上涨18%，最高价为51.35元，总市值上涨了15.54亿元，2025年来上涨47.68%。
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