据南方财富网概念库数据显示，微机电系统题材的上市企业有：
至纯科技：
12月31日资金净流入1.52亿元，超大单净流入7160.29万元，换手率11.39%，成交金额13.6亿元。
至纯科技2025年第三季度实现总营收7.59亿元，毛利率35.07%。
航天电器：
12月31日消息，航天电器主力净流入2984.58万元，超大单净流入5935.04万元，散户净流出451.4万元。
2025年第三季度季报显示，航天电器公司营收14.14亿，同比增长31.73%；实现归母净利润5934.86万，同比增长122.54%；每股收益为0.13元。
北方华创：
12月31日该股主力资金净流入2.56亿元，超大单资金净流入1.66亿元，大单资金净流入8936.3万元，中单资金净流出2.54亿元，散户资金净流出202.93万元。
公司2025年第三季度实现营收111.6亿，同比增长38.31%；净利润19.22亿，同比增长14.6%。
深南电路：
12月31日该股主力净流入8349.05万元，超大单净流入259.23万元，大单净流入8089.82万元，中单净流出2395.89万元，散户净流出5953.16万元。
公司2025年第三季度实现总营收63.01亿，同比增长33.25%；实现毛利润19.78亿。
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