据南方财富网概念库数据显示，集成电路装备上市公司有：
盛美上海（688082）：
从盛美上海近五年扣非净利润复合增长来看，近五年扣非净利润复合增长为86.1%，过去五年扣非净利润最低为2020年的9243.78万元，最高为2024年的11.09亿元。
炬光科技（688167）：
炬光科技从近五年扣非净利润复合增长来看，过去五年扣非净利润最低为2024年的-1.82亿元，最高为2022年的8365.78万元。
中微公司（688012）：
从中微公司近五年营收复合增长来看，近五年营收复合增长为41.31%，过去五年营收最低为2020年的22.73亿元，最高为2024年的90.65亿元。
数据由南方财富网提供，仅供参考，不构成投资建议，股市有风险，投资需谨慎，据此操作，风险自担。
南方财富网声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。