据南方财富网概念查询工具数据显示，高纯工艺设备龙头股上市公司有：
至纯科技：龙头股。公司已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购，有效降低了生产成本。
2月26日该股主力净入3031.22万元，其中资金流入方面：超大单净入6029.85万元，大单净入1.43亿元，中单净入1.78亿元，散户净入1.82亿元；资金流出方面：超大单净出2758.52万元，大单净出1.46亿元，中单净出1.95亿元，散户净出1.95亿元。
高纯工艺设备上市公司其他的还有：
正帆科技：近7个交易日，正帆科技上涨3.27%，最高价为33.07元，总市值上涨了3.29亿元，2026年来上涨3.68%。
杭氧股份：近7日杭氧股份股价上涨4.33%，2026年股价上涨5.96%，最高价为32.63元，市值为318.36亿元。
新莱应材：回顾近7个交易日，新莱应材有6天上涨。期间整体上涨3.62%，最高价为53.13元，最低价为58.55元，总成交量1.32亿手。
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